马珺瑛-精密仪器如何解决半导体厂务中的难题.pdf

1、精密仪器如何解决半导体厂务中的难题精密仪器如何解决半导体厂务中的难题2023/05珠海梅特勒托利多 马珺瑛半导体厂务三大难题 超纯水遇上先进制程先进制程-独家提供的0.5%电阻率传感器 化学品化学品符合工艺要求吗-化学品实验室分析-抛光液配液-化学品稀释-电子特气供给 为什么废水处理传感器寿命短寿命短？-怎样预防pH堵塞2For internal use-Confidential超纯水专用电阻率传感器 UPW UniCondTM新突破：精度提高至0.5%！3For internal use-Confidential电阻率精度 0.5%（温度补偿至25C）稳定性0.003 Mcm(典型Rinse

2、后标准偏差)电极诊断功能ISM智能诊断与变送器通讯ISM数字通信,即插即测超纯水电阻率检测关键点超纯水供给化学品配液浸没式光刻光刻前清洗CMP后清洗1%精度意味着:当传感器读数为18.18时，实际值可能已经低于18.00的控制线！0.5%精度意味着:更及时发现异常，提高晶圆制造良率，减少停机风险1%误差范围0.5%误差范围读数晶圆厂控制限值Rinse-to-Resistivity助力气化科：高精度电子化学品检测实验室滴定和在线滴定解决方案4自动电位滴定仪自动进样机密封滴定智能称量在线滴定系统产品产品指标分析指标分析刻蚀液H2O2、HNO3/HF、HNO3/CH3COOH、TMAH混酸HCl、H

3、F、H3PO4、HNO3/HF/H2SiF6、HF/NH4F、KOH清洗剂、剥离液H2O2/H2SO4、NH4OH/H2O2、HCl/H2O2、CH3COOH、NaOH槽液、非碱性槽液、KOH/KOH/、KOH/KMnO4、铁金属表面混酸清洗、表面活性剂和螯合剂的清洗剂、Na3PO4、KOH氰化物（黄金剥离）切削液、研磨液水分测试、SiC(水分、300 ppm)、新鲜PEG、新鲜和用过的研磨液(2:自动触发清洗+耐用电极7For internal use-Confidential 智能电极管理系统智能电极管理系统 自动触发清洗自动触发清洗 EasyClean自动清洗套件自动清洗套件-气洗、水洗

4、、化学清洗-利用气蚀效应的专利喷头02468101214含铜废水含氨废水研磨液废水电极平均寿命（月）不同点位电极寿命（超声波清洗环境下）其他品牌MT梅特勒价值链-半导体行业8For internal use-Confidential厂务分析实验室厂务分析实验室超纯水实时监测超纯水实时监测废水及化学品回收废水及化学品回收气化配料及中央供给气化配料及中央供给多参数分析仪自动进样机器自动点位滴定仪LabX数据管理软件在线/便携分析仪表-pH/电导率/DO/TOC/硅表/浊度/微生物等自动清洗套件iSense校正软件浓度计/在线滴定等在线分析仪表称重模块/平台秤/车辆衡梅特勒-托利多中国在上海、常州、成都设立制造基地及研发中心、并拥有遍布全国的销售及服务网络 梅特勒-托利多是全球领先的精密仪器及衡器制造商与服务供应商 产品适用于实验室、制造业和零售服务业。9四川成都江苏常州上海江苏常州