光舵微纳--纳米压印技术应用于AR光栅制作.pdf

1、光舵微纳纳米压印技术2022.05.27深圳苏州光舵微纳科技股份有限公司XOutline 光舵微纳简介 光舵微纳AR光栅应用领域技术方案：研发及量产型纳米压印设备 量产型柔性模板拼接设备 纳米压印相关耗材 光栅结构的刻蚀制作 成立于2011年;致力于纳米压印设备及技术的研发及产业化应用;累计获得政府各项资助超过3000万元;2016年8月推出国产首台全自动量产型纳米压印设备;LED-PSS 行业接近100%市场占有率；提供设备，工艺以及耗材的完整解决方案;具备AR全息衍射光栅制作的完备方案 已完成B轮融资公司简介3公司资质4 国家“千人计划”创业人才 江苏省“省双创”人才 江苏省企业博士集聚计

2、划 江苏省六大高峰人才 苏州市“姑苏人才”南京市“321人才项目”常熟市创新创业人才A类扶持计划 苏州工业园区创新创业领军人才 国家中小企业创新基金 江苏省中小企业创新资金 江苏省科技型创业企业孵育计划 江苏省首台套重大设备 江苏省高新技术产品 国家高新技术企业 欧盟CE认证2项完整的技术方案 5设备机械设计软件设计技术服务及支持耗材研发工艺研发核心技术 6 均匀气动热压印技术 紫外柔性模板自动压印技术 滚轮式紫外压印技术 完备成熟的耗材及压印工艺解决方案已累计申请专利80项，获授权45项；已授权的核心发明专利：滚对板式纳米压印工艺 78纳米压印技术(NIL)快速廉价的微纳图形复制工艺；光刻电

3、子束蚀刻极紫外干涉纳米压印工艺原理纳米压印技术应用：累计设备出货近100台9极其严苛的技术要求极其严苛的技术要求:LED-PSS 应用:实现了对光刻机的产业化替代 Uniformity of height over the whole surfaceAOI surface quality:pattern loss,contaminationPattern shape after imprintingAfter etching Uniformity of width over the whole surface 形貌保真性形貌保真性 均匀性均匀性 缺陷率缺陷率 良品率良品率 产能产能 成本成本l

4、 全自动的软模板制作及纳米压印生产能力l 4英寸产能 100片/小时,6英寸产能50片/小时，8英寸产能15片/小时；l 高结构保真性;l 易于操作；l 完备成熟的耗材供应；l 全面有力的培训及技术支持；l 极低的 COO成本；l 已经大规模验证的稳定量产可行性.核心优势客户端累计量产超过客户端累计量产超过2000万片！万片！全系列的多款纳米压印设备 12 光舵微纳AR领域应用：研发型纳米压印设备兼容兼容4,6,8英寸晶圆英寸晶圆全自动晶圆传送，可进行小批量生产全自动晶圆传送，可进行小批量生产最低线宽小于最低线宽小于20nm压印深宽比至压印深宽比至10:1兼容高刻蚀比压印胶压印兼容高刻蚀比压印

5、胶压印型号：GD-N-R002 光舵微纳AR领域应用：量产型纳米压印设备 型号：GD-2C-N-R300 12英寸晶圆及以下兼容英寸晶圆及以下兼容 晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能 全自动晶圆传送全自动晶圆传送 全自动柔性模板制作及自动压印工全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程艺流程 最低线宽小于最低线宽小于20nm 压印深宽比至压印深宽比至10:1 兼容高刻蚀比压印胶压印兼容高刻蚀比压印胶压印 光舵微纳AR领域应用：量产型柔性模板拼接设备 实现全自动柔性模板拼接实现全自动柔性模板拼接 12英寸面积及以下兼容英寸面积及以下兼容 精密位移系统及光学系统对位系统精密位移

6、系统及光学系统对位系统 拼接柔性模板区域图形精密可控拼接柔性模板区域图形精密可控 实现高重复性量产级模板拼接制作实现高重复性量产级模板拼接制作型号：GD-TS-R300 耗材：16l高分辨率，最小分辨率可至10nm;高刻蚀比，处于全球领先地位；与氧化硅刻蚀比与氧化硅刻蚀比至至1:2，与蓝宝石，与蓝宝石刻蚀比至刻蚀比至0.9不同折射率的光学压印胶；纳米压印胶PDMS体系模具胶：低成本，高分辨率；UV固化体系模具胶：高分辨率，高深宽比；多型号模具用基底材料：PET,超薄玻璃纳米压