周瑶-光栅和光谱仪模块技术在分析设备小型化中的作用_蔡司周瑶公开版.pdf

1、ZEISS classification:Restricted光栅和光谱仪模块技术在分析设备小型化中的作用作者：周瑶/Jamie Zhou职位：Associate Product Manager2023-09-062023|卡尔蔡司光谱事业部ZEISS classification:Restricted01030402主要内容蔡司光栅和光谱仪模块的主要应用Quasper comnis velenda auqam aut verum ex etur.Illigeni num et quia con nita xuptiatum que antius doloecaeatis sitas.蔡司集团

2、简介光栅技术、光栅产品和可定制的Offner光栅技术6 September 2023ZEISS光谱仪模块技术和微型化光谱仪模块Page 2ZEISS classification:Restricted蔡司光栅和光谱仪模块的主要应用6 September 2023ZEISSPage 3蔡司光谱产品概述光栅光谱仪模块光谱仪系统解决方案结合特定的数学模型，为农业、食品和大面积镀膜提供在线光谱检测解决方案。涵盖从UV、VIS到NIR的光谱范围。基于CCD和CMOS以及NMOS-PDA（硅或InGaAs），具有高分辨率和无需重新校准。适用于各种应用和要求的二极管阵列光谱仪系统。用于波长检测和分离设备，如

3、光谱仪和激光系统。可提供平面光栅，太空光栅，激光光栅，凹面光栅，脉冲压缩光栅以及棱栅。ZEISS classification:Restricted蔡司光栅和光谱仪模块的主要应用6 September 2023ZEISSPage 4分析设备小型化的作用颜色测量LED 检测水质检测印刷机器晶圆检测HPLC 检测薄膜领域废弃物分选半导体行业拉曼荧光分析饮料行业水果分选化学行业天然油分析蚀刻工艺控制HPLC 检测水质检测ZEISS classification:Restricted全息衍射光栅技术6 September 2023ZEISSPage 5蔡司亮点蔡司光栅技术有超过80年的历史，拥有遗产级

4、别的空间光栅技术。-图1所示的装置用于产生具有对称凹槽轮廓光栅如正弦光栅和层流光栅，这些光栅用于宽范围内的光谱色散。-图2所示的装置用于生产具有锯齿形凹槽轮廓光栅，此类光栅在特定波长范围内显示出特别高的衍射效率。蔡司全息光栅的亮点：-低杂散光-像差校正图 1 对称轮廓图2 闪耀轮廓-衍射效率高-零衍射级被很大程度地抑制ZEISS classification:Restricted光栅产品6 September 2023ZEISSPage 6概述棱栅激光脉冲压缩光栅平面光栅定制光栅Offner光栅凹面光栅ZEISS classification:Restricted可定制的Offner光栅技术6

5、 September 2023ZEISSPage 7用于成像光谱仪在蔡司的全息工艺中，闪耀面形通过全息记录制作，以实现与光学基板形状的出众适配。蔡司在设计和定制Offner光栅方面拥有自己的专长。-尽可能地减少串扰-信噪比优异-杂散光少，提高图像质量-效率高-洞察整个光谱ZEISS classification:Restricted光谱仪模块技术6 September 2023ZEISSPage 8概述ZEISS classification:Restricted微型化光谱仪模块6 September 2023ZEISSPage 9一体化微型光谱仪（MMS）结构紧凑且坚固耐用，可实现在紫外，可

6、见，近红外波段的可靠测量:nmMMS 光谱仪:紫外波段灵敏度增强 高信噪比(11000)低杂散光(0.1%)紧凑，内部无移动部件ZEISS classification:Restricted微型化光谱仪模块6 September 2023ZEISSPage 10紧凑型光栅光谱仪（CGS)背照式CCD，NMOS或CMOS探测器具有高光学分辨率，且能覆盖紫外到近红外波段：190-1100nm。CGS 光谱仪:可低于 2 nm 的高分辨率 可定制狭缝尺寸 可定制内部光栅(UV,VI