广东省生态环境厅：广东省电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南（20页）.pdf

1、附件 6广东省电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南广东省生态环境厅二二二年六月I目次前言.II1 范围.12 规范性引用文件.13 术语和定义.24 行业生产与 VOCs 污染的产生.35 污染预防技术.116 过程控制技术.117 末端治理.138 环境管理.13II前言为贯彻中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国大气污染防治法、广东省大气污染防治条例等法律、法规，落实国务院办公厅关于印发控制污染物排放许可制实施方案的通知（国办发201681 号）要求，防治环境污染，改善环境质量，指导和规范挥发性有机物综合整治工作，制定本指南。本指南规定了电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南。

2、请注意本指南的某些内容可能涉及专利。本指南的发布机构不承担识别这些专利的责任。本指南由广东省生态环境厅组织制定。本指南起草单位：广东环境保护工程职业学院。本指南起草人：余宇帆、庄延娟、刘玲英、朱迪、周咪、罗超、罗文旺、蔡慧华。本指南由广东省生态环境厅解释。11范围本指南规定了电子元件制造业挥发性有机物综合整治技术指南。本指南适用于电子元器件制造企业（包括电子器件制造和电子元件及电子专用材料制造）挥发性有机物（VOCs）排放控制相关技术要求，其中电子器件制造包括电子真空器件制造（3971）、半导体分立器件制造（3972）、集成电路制造（3973）、显示器件制造（3974）、半导体照明器件制造（3

3、975）、光电子器件制造（3976）以及其他电子器件制造（3979）；电子元件及电子专用材料制造（3980）、电阻电容电感元件制造（3981）、电子电路制造（3982）、敏感元件及传感器制造（3983）、电声器件及零件制造（3984）、电子专用材料制造（3985）以及其他电子元件制造（3989）等。2规范性引用文件本标准引用下列文件或其中的条款。凡是不注日期的引用文件，其有效版本适用于本标准。DB 4427 大气污染物排放限值GB 37822 挥发性有机物无组织排放控制标准GB 33372 胶粘剂挥发性有机化合物限量GB 38508 清洗剂挥发性有机化合物含量限值GB 38507 油墨中可挥发

4、性有机化合物（VOCs）含量的限值HJ 1031 排污许可证申请与核发技术规范 电子工业HJ 1093 蓄热燃烧法工业有机废气治理工程技术规范HJ 2026 吸附法工业有机废气治理工程技术规范HJ 2027 催化燃烧法工业有机废气治理工程技术规范GB/T 38597 低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法GB/T 4754 国民经济行业分类和代码粤环200842 号 广东省污染源排污口规范化设置导则粤环办函202019 号 广东省挥发性有机物重点监管企业 VOCs 管控台账清单粤环发20214 号 广东省生态环境厅关于实施厂区

5、内挥发性有机物无组织排放监控要求的通告23术语和定义下列术语和定义适用于本指南。3.1 电子真空器件制造指电子热离子管、冷阴极管或光电阴极管及其他真空电子器件，以及电子管零件的制造。3.2 半导体分立器件制造指半导体晶体二极管、半导体三极管简称三极管、三极管及半导体特殊器件。3.3 集成电路制造指单片集成电路、混合式集成电路的制造。3.4 显示器件制造指基于电子手段呈现信息供视觉感受的器件及模组的制造，包括薄膜晶体管液晶显示器件（TN/STN-LCD、TFT-LCD）、场发射显示器件（FED）、真空荧光显示器件（VFD）、有机发光二极管显示器件（OLED）、等离子显示器件（PDP）、发光二极管

6、显示器件（LED）、曲面显示器件以及柔性显示器件等。3.5 半导体照明器件制造指用于半导体照明的发光二极管（LED）、有机发光二极管（OLED）器件等制造。3.6 光电子器件制造指利用半导体光电子（或电光子）转换效应制成的各种功能器件制造。3.7 其他电子器件制造指其他未列明的电子器件的制造。3.8 电阻电容电感元件制造指电容器（包括超级电容器）、电阻器、电位器、电感器件、电子变压器件的制造。33.9 电子电路制造指在绝缘基材上采用印制工艺形成电气电子连接电路，以及附有无源与有源元件的制造，包括印刷电路板及附有元器件构成电子电路功能组合件。3.10 敏感元件及传感器制造指按一定规律，将感受到的