至纯科技：至纯科技：2021年1月11日至纯科技经营沟通电话会议纪要.docx

1、至纯科技经营沟通电话会议纪要时间： 2021年1月11日 嘉宾： 至纯科技董事会秘书 柴心明 主持人：广发电子首席分析师 许兴军 广发机械首席分析师 代川湿法设备业务近期情况：2020年湿法设备交付给客户的装机地点从北京、上海、无锡、长沙延伸到台湾新竹，工艺节点包括0.35微米到28nm，包括先进工艺、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体、集成电路的设计和研发等。单片湿法设备：20年年底，公司在国内一个重点项目上获得突破，获得批量的湿法订单，包括单片的、特殊工艺（高温硫酸、晶背清洗、二流体清洗、异丙醇干燥）等机型，进一步填补了国产装备在湿法工艺领域的空白。旗下的至微科技向合肥长鑫交付了一台

2、12英寸的特殊工艺的单片设备，公司单片设备的相关能力和性能获得了国际大厂的认可，晶圆表面的颗粒清洗、每小时的出产量上等指标可以覆盖14nm以下的工艺节点。客户反馈至纯的清洗设备传送快速稳定、可靠性高，制程设备工艺表现优秀、颗粒控制能力领先于其他的国内同类型装备，刻蚀速度稳定，刻蚀均匀性可对标进口设备，服务响应速度快。目前对标的是国际湿法设备龙头DNS，DNS在国内的市占率约50%，至纯的国内市占率不到10%，至纯有信心在2022年完成5年累计200台的装机目标，在湿法领域进一步深耕。Q1：18-19年比较多的槽式设备，订单、发货情况怎么样？A：槽式2020年交付了将近30台，年初考虑启东达产制

3、定了48台的目标，受到疫情影响，启东直到3月底才允许工程师进厂生产。之后遇到北京的疫情，6月中旬封闭了1个月，导致北方客户无法按时进厂调试安装，相应的订单由于不可抗力进行了延后，下半年的订单处于一个供不应求的状态，现在的订单已经排到21年3季度。Q2:2021年湿法设备新签订单的清晰度，产能的情况，以及湿法设备业务的盈亏情况？A：目前湿法设备订单已经排产到3季度。非公开主要就是为了二期扩产进行的募集，已经垫付了一定的资金在做扩产准备，之后再置换。预计21年湿法设备业务将实现大幅盈利。Q3：传统的高纯业务情况，产能有没有影响。A：今年比较特殊，往年11-12月份都是我们催款、验收的时间，今年11

4、-12月份，包括高纯设备、湿法设备还都在竞标、开标，所以面临一个井喷式的订单增长。高纯设备已经做了20年的服务，产能是有保证的，正在有序扩大产能，可以满足下游客户的需求。目前的客户是有选择性的，优先满足三星、台积电、海力士等国际大客户在国内的建厂，以及中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微、华润微等国内龙头，最后再挑选回款好的其他客户。高纯系统我们有做到20亿的能力，但是这个属于垫资业务，我们不希望一下子做到20亿，希望进入到一个良性循环的状态，减轻公司现金的压力。Q4：国内8寸厂的产能很紧张，12寸成熟制程比如56nm以上的扩产是不是会积极一些？A：8寸厂的产线建设、产能扩张其实已经差不多了

5、，明年主要是12寸厂的功率半导体会上大批设备，我们的12寸槽式清洗设备会是明年主打的一个机型，0.35微米-90nm之间的功率半导体，槽式的12寸清洗设备完全可以满足下游客户的需求，12寸在这种非先进制程领域今年的订单已经有所体现，会有比较大的发展。先进制程领域，28nm-14nm之间的，我们的单片式也在去年底获得批量的订单，今年年底有望获得多批次的重复订单。最新一期的公众号里面，我们已经披露最新的单片订单已经超过10台，合同金额超过3亿，在明年陆续会发货交付。单片式的数量可能不及槽式，价值量比槽式的大很多，已知最贵的一台湿法清洗设备是DNS卖给三星的24腔体、特殊工艺的单价高达4500万美金

6、。我们目前具备8-12腔的高阶设备生产能力，设计能力是18腔，争取今年底到明年可以推出18腔的产品，价值会进一步向国外的龙头靠拢。国际供应商同类型设备，8腔普通工艺约350万美金，8腔特殊工艺会更贵，12腔特殊工艺可能高达千万美金以上。Q5：研发的团队情况和发展计划。A：湿法团队18年建立，到现在有约200人，今年晶圆再生项目要投产，一共可能要达到500人。湿法团队在明年可能会成为集团的第一大事业部，将贡献50%的营收，增长是比较确定的。细分领域方面，湿法从8寸到12寸，从普通工艺到先进工艺，差不多有百种型号，覆盖