灵光OM-2双波长监控技术研究20250903.pdf

1、灵光灵光OM-2双波长监控简介双波长监控简介东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司范卫星博士范卫星博士20250903东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司，是一家深耕光学薄膜科技领域的，是一家深耕光学薄膜科技领域的高新技术企业。公司以光学膜厚监控与薄膜生产工艺为核心竞争力，业务覆盖光高新技术企业。公司以光学膜厚监控与薄膜生产工艺为核心竞争力，业务覆盖光学真空镀膜机设计制造、光学膜厚监控技术、监控软件开发。学真空镀膜机设计制造、光学膜厚监控技术、监控软件开发。通过技术创新与优质服务，打造国产高端光学镀膜设备在通过技

2、术创新与优质服务，打造国产高端光学镀膜设备在A1、光通信、精、光通信、精密光学薄膜领域实现国产替代。密光学薄膜领域实现国产替代。公司的明星产品“丰”“润”品牌光学镀膜机配置灵光公司的明星产品“丰”“润”品牌光学镀膜机配置灵光OM-1或灵光或灵光OM-2光光控、射频离子源、双电子枪、晶振厚度控制及分子泵系统，兼具节能、稳定、高控、射频离子源、双电子枪、晶振厚度控制及分子泵系统，兼具节能、稳定、高精度的优势，广泛应用于光通讯、精密光学、红外、紫外、无人机、激光雷达、精度的优势，广泛应用于光通讯、精密光学、红外、紫外、无人机、激光雷达、生命科学、军工领域的各类滤光片镀膜，为相关行业高质量发展提供设备

3、支持。生命科学、军工领域的各类滤光片镀膜，为相关行业高质量发展提供设备支持。东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司FRX OE-Tech Co.Ltd东莞丰润兴光电科技有限公司致力灵光系列光控软件开发致力灵光系列光控软件开发 4 片光控片 灵光片光控片 灵光OM-1光控光控双波长监控 灵光双波长监控 灵光OM-2光控光控东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司反射间接光控反射间接光控1、6080位监控点，每点监控两位监控点，每点监控两 层膜，监控精度高，层膜，监控精度高，2、镀膜设计方便，适用多层膜系、镀膜设计方便，

4、适用多层膜系透射直接光控透射直接光控1、46位监控点，每片需监控多层薄膜，位监控点，每片需监控多层薄膜，监控精度高；监控精度高；2、监控点与镀膜基片在同一位置，、监控点与镀膜基片在同一位置，Tooling=1，重复定位精度高；，重复定位精度高；3、方便窄带滤光片的生产、方便窄带滤光片的生产4、方便高陡度长短波通滤光片量产、方便高陡度长短波通滤光片量产透射直接光控与反射间接光控的对比透射直接光控与反射间接光控的对比各自的优点各自的优点东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰润兴光电科技有限公司1、反射监控点与镀膜基片不在同一、反射监控点与镀膜基片不在同一 位置，需要根据位置，需要根据Tooling值调整

5、每值调整每 一层监控光量值；一层监控光量值；2、真空度、蒸发速率、监控点温度、真空度、蒸发速率、监控点温度 等因素都将影响等因素都将影响Tooling值，光谱值，光谱 曲线定位重复精度不高曲线定位重复精度不高1、透射直接监控设计复杂度高，、透射直接监控设计复杂度高，对工程师要求高；对工程师要求高；2、随监控片上膜层数增加，误差、随监控片上膜层数增加，误差 累积导致监控精度降低；累积导致监控精度降低；3、监控片数量少，不利于、监控片数量少，不利于120层以层以 上膜系监控上膜系监控透射直接光控与反射间接光控的对比透射直接光控与反射间接光控的对比各自的缺点各自的缺点东莞丰润兴光电科技有限公司东莞丰

6、润兴光电科技有限公司1、透射直接监控是透射率的绝对值监控，更反应薄膜的当前状态；、透射直接监控是透射率的绝对值监控，更反应薄膜的当前状态；2、没有影响、没有影响Tooling值的因素，透射直接监控是监控光学厚度，值的因素，透射直接监控是监控光学厚度，尽管真空度、蒸发速率、监控点温度等对薄膜折射率有影响，尽管真空度、蒸发速率、监控点温度等对薄膜折射率有影响，但可以通过厚度补偿，对实际曲线影响不大；但可以通过厚度补偿，对实际曲线影响不大；3、直接监控的镀膜曲线重复好，稳定、直接监控的镀膜曲线重复好，稳定个人观点个人观点