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公司拟对关键子系统/零部件进行自主研发，实现自主替代及降低成本。公司开展关键子系统、核心零部件自主研发项目，拟对高精度运动平台、激光光源、EFEM、智能化直写光刻系统等关键子系统/零部件进行自主研发。本项目建设期 3 年，预计项目建成后将加强公司供应链自主可控能力并降低成本，进一步增强公司市场竞争力，有望实现量利双增。
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