由于光的衍射造成的图像失真及OPC效果对比
2025-03-14 13:50:16
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表3-2：OPC政策差异化评估表
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表4-5：OPC政策长效化机制建设表
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表1-1：中国OPC发展规模可验证数据表
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2026-01-26 13:45:30
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中，遇到尺寸与波长大小相近的障碍物时，光会传到障碍物的阴影区并形成明暗变化的光强分布情况。这种情况在投影式光刻中尤为明显，激光通过掩膜版的透光区和投影物镜后会出现显著的夫琅禾费衍射现象，导致曝光图形边缘的分辨率降低，图案边缘失真严重，CD 精度大幅下降。因此，为了提高光刻环节曝光图形的CD 精度，必须要对掩膜图案进行光学邻近效应修正（OPC）。
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