北方华创是国内PVD设备龙头，正在加大CVD和ALD设备布局
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CVD 设备：公司布局拓展了 DCVD （包括 PECVD、SACVD、介质原子层沉积）和 MCVD（包括 LPCVD、MOCVD、金属原子层沉积） 两大系列产品。实现金属硅化物、金属栅极、钨塞沉积、高介电常数原子层沉积等工艺设备的覆盖。截至 2023 年底，北方华创已实现 30 余款 CVD 产品量产应用，为超过 50 家客户提供技术支持，累计出货超 1000 腔。
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