中微及其合作伙伴5-10年后覆盖50%-60%高端设备产品
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自主研发+外部投资，扩大集成电路领域设备布局。中微公司刻蚀设备实力突出，获得海内外一线芯片制造企业认可，并通过自主研发和外延发展，不断扩大刻蚀设备领域竞争优势，同时延伸道薄膜、检测等设备领域，未来公司有望不断突破关键工艺设备并参与和海外设备龙头的竞争。公司现覆盖约 33%集成电路关键领域的设备，包括刻蚀设备、薄膜沉积设备和检测设备。公司积极考虑投资和并购的方式来整合产业链上下游和相关资源，预计未来五到十年，将通过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖集成电路关键领域 50%至 60%的设备。
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