公司先进陶瓷零部件产品具体情况（产业化阶段情况截至2024年8月）
2025-09-26 13:45:14
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1）先进陶瓷：公司先进陶瓷业务以材料为基础，产品形式为高度定制化的零部件，应用于半导体、新能源、汽车制造、生物医药等领域。在半导体领域，公司先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序，已覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。公司已积累形成由氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛 6种材料组成的基础材料体系。
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