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以 G/I 线光刻胶中常见的重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶为例，其核心成分就是含有重氮萘醌组分的感光化合物（Photo-Active Compound，PAC）和酚醛树脂。由于重氮萘醌属于重氮类化合物，其在吸收 365 nm（i 线）或 436 nm（g 线）波长的光后，重氮官能团将脱去并发生结构重排，邻位的羰基遇热水解后变成羧酸，可溶解于碱性溶液中。因此对于重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶而言，其显影液主要为水相碱性溶液（如 TMAH）。在重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶中，对于未曝光区域重氮萘醌的存在可以抑制酚醛树脂在碱性显影液中的溶解，而曝光区域内重氮萘醌结构转变为茚酸结构可溶于碱性溶液，由此重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶展现出了正性光刻胶的特点。
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