改良西门子法为生产多晶硅的主流方法,还原炉为关键设备。多晶硅的生产方法主要包括改良西门子法和硅烷流化床法,相较于改良西门子法,硅烷流化床法的优势在于电耗低、拉晶产出高,更有利于与较为先进的 CCZ 连续直拉技术相结合,但缺点在于容易发生氢跳、易产生杂质,且制备颗粒硅的过程中需要用到硅烷,存在安全隐患。改良西门子法生产技术成熟,产品质量高,是目前应用最为广泛的生产技术。根据中国光伏行业协会数据,2022 年国内多晶硅产量中采用改良西门子法的占比高达 92.5%,而还原炉和冷氢化电加热器则是改良西门子法生产过程中的核心设备。