温控设备单台均价将持续提升。假设一座 12 英寸晶圆厂每万片月产能大约需要100 至 200 台温控设备，先进制程由于更多的高功率刻蚀与沉积步骤，往往趋向于区间上沿。随着先进制程对 Sub-Fab 空间利用率的极致追求，传统“一个温区配一台单体 Chiller”的架构正加速被“多通道 Chiller”所替代，即通过将多个独立的制冷回路集成在同一台机组内，使得名义上的设备台数明显减少，但单台设备的价值量因集成度提高大幅上升。