几何反射波导采用传统光学元器件生产方式,镀膜及胶合工艺复杂,良率较低
2025-04-27 13:40:50
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合工艺。首先通过切割玻璃基材获得各种规格的波导小棱镜,然后对小棱镜进行粗磨、精磨与抛光,之后在小棱镜上根据棱镜排布和进光量分别镀不同膜系的薄膜来获得不同的反射/透射比,最后对小棱镜进行胶合将它固定为表面光滑的波导片。其中难点在于镀膜和胶合工艺,大大限制了总成良率。
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