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芯片高集成下，2025 年半导体用 ALD 总市场规模有望达到 40~46 亿美元。跟随先进制程逻辑和存储芯片逐渐走向三维，NAND 向 500 层以上迈进、3D DRAM 逐步走向市场，先进逻辑也从 Fin-FET 转向 GAA，在小面积上高集成的趋势将提升 ALD 的市场空间。2022 年，单片式 ALD 设备规模 26亿美元，预计到 2025 年，市场规模有望达到 31~37 亿美元，22-25 年 CAGR达到 4.5~9.2%。2022 年，全球多片式 ALD 设备规模为 8.3 亿美元，预计到2025 年，多片式 ALD 设备规模将达到 9 亿美元。
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