北方华创CVD产品及特点
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技术创新推动,CVD 业务蓬勃发展。北方华创布局拓展 DCVD 和 MCVD 两大系列产品,实现金属硅化物、金属栅极、钨塞沉积、高介电常数原子层沉积等工艺设备的全方位覆盖,关键技术指标均达到业界领先水平。截至 2023年底,北方华创已实现 30余款 CVD产品量产应用,累计出货超 1000 腔。
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