半导体装备是机械行业中景气度最高的子板块之一，国产替代进程持续加速。2024年半导体装备板块营收同比增长32.90%，归母净利润同比增长13.39%，营收增速在机械各子板块中排名第一。2025年一季度业绩同比增速进一步提升至38.60%。国内晶圆厂资本开支保持高位，国产设备验证和导入进程加快，半导体设备国产化率持续提升。国信证券认为，半导体装备国产替代正进入加速期，产业链核心标的有望持续受益。
2024年业绩高增——营收+32.9%，国产替代加速
2024年半导体装备板块实现营收612.59亿元，同比增长32.90%，增速在机械各子板块中排名第一。归母净利润88.37亿元，同比增长13.39%。营收增量151.65亿元，占全行业营收增量的13.14%；利润增量10.44亿元。半导体装备板块经营现金流占营收比重同比提升7.46个百分点，现金创造能力显著改善。
景气上行的核心驱动：国内晶圆厂持续扩产（中芯国际、华虹、长存、长鑫等）；美国对华半导体出口管制加速国产设备替代；国产设备在成熟制程和部分先进制程领域验证通过率提升；半导体设备国产化率从2020年的约7%提升至2024年的约15-20%。应收账款周转率同比+3.12%，经营效率改善。
2025Q1延续高增——业绩同比+38.6%
2025年一季度，半导体装备板块业绩同比增速达38.60%，在机械各子板块中排名前列。国内半导体产业链自主可控需求持续增强，晶圆厂资本开支维持高位，国产设备订单充足。北方华创、中微公司、芯源微、拓荆科技等龙头企业一季度业绩表现亮眼。
国产替代空间——从成熟制程向先进制程延伸
半导体装备国产替代正从成熟制程向先进制程延伸。刻蚀机、薄膜沉积、清洗设备等领域的国产化率持续提升；光刻机、离子注入等环节仍高度依赖进口，国产替代空间广阔。国内半导体设备市场规模约300-400亿美元，国产化率每提升10个百分点对应约30-40亿美元的市场空间。
投资建议——关注半导体设备核心标的
半导体装备国产替代进程加速，建议关注北方华创（刻蚀/薄膜沉积）、中微公司（刻蚀）、芯源微（涂胶显影）、拓荆科技（PECVD）、华峰测控（测试机）、长川科技（测试分选机）等。
