华创证券发布半导体设备零部件核心标的梳理报告。半导体设备零部件品类繁多、验证周期长，具备技术优势和平台化布局的企业有望率先导入下游头部客户。富创精密是国内半导体设备零部件领军者，2019-2023年营收CAGR达69%；珂玛科技是先进陶瓷零部件领跑者，2024Q1-3归母净利润同比增295%；新莱应材全面布局洁净系统组件，绑定全球及国内头部设备厂；江丰电子靶材业务稳健增长，半导体设备零部件业务进入放量期。国产替代加速推进，建议关注上述标的。
富创精密：半导体设备零部件领军者，国际化+国产替代双轮驱动
富创精密成立于2008年，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备等领域。公司已进入客户A（国际半导体设备龙头）、东京电子、VAT、HITACHI、ASMI等全球龙头供应链，同时积极开拓国内市场。
2019-2023年营收CAGR达68.98%，2024Q1-3营收23.65亿元同比+37.28%。模组产品增长迅速，2023年占比升至45.39%（同比+18.63pct），工艺零部件和结构零部件毛利率约30%。2024Q1-3毛利率28.78%，较2023年25.20%有所回升。南通、北京厂房产能达产与行业景气度错配导致短期盈利能力承压，伴随行业复苏有望修复。公司持续研发投入，部分高端产品已应用于7纳米制程设备，国际化发展+国产替代双轮驱动长期成长。
珂玛科技：先进陶瓷零部件领跑者，陶瓷加热器量产驱动高增
珂玛科技成立于2009年，是国内本土先进陶瓷材料及零部件领先企业，掌握从材料配方到零部件制造全工艺流程核心技术。产品主要用于半导体制造前道工序，覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备，以及显示面板、LED、光伏等泛半导体领域。陶瓷加热器产品已通过客户验证并实现量产，静电卡盘、超高纯碳化硅套件在研。
2019-2023年营收CAGR 28.61%，2024Q1-3营收6.16亿元同比+74.65%，归母净利润2.26亿元同比+295.42%。泛半导体先进陶瓷毛利率稳定在55%左右，高毛利率新品放量带动盈利能力显著提升。公司2020年扩产产能释放，期间费用率稳定在20%左右。有望受益半导体设备需求增长和关键零部件国产化替代双重驱动。
新莱应材：洁净系统组件全面布局，真空/气体零部件快速放量
新莱应材成立于1991年，产品包括腔体、管道、管件、泵阀、法兰等洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料，覆盖泛半导体、生物医药与食品三大领域。半导体领域产品可覆盖半导体制程设备和厂务端所需的真空系统和气体管路系统，是国内管阀件头部厂商。
2019-2023年营收CAGR 18.24%，2024上半年受益半导体行业复苏与国产替代，泛半导体业务收入4.47亿元占比升至32%。公司绑定全球头部设备厂商AMAT与LAM，并进入北方华创等国内头部设备厂；厂务端面向正帆科技、至纯科技等及长江存储、无锡海力士等终端客户。2023年在新加坡和马来西亚建厂，加深国际客户联系。泛半导体和医药毛利率较高（30%+/36%+），产品结构优化驱动盈利能力波动向上。
江丰电子：靶材龙头+零部件放量，双轮驱动打开成长空间
江丰电子成立于2005年，是国内半导体靶材行业头部企业，主要产品包括铝靶、钛靶、钽靶等，客户覆盖全球头部半导体、平板显示及新能源厂商。2017年起积极布局半导体设备零部件业务，2022年布局第三代半导体材料。
2019-2023年营收CAGR 33.26%，2024Q1-3营收26.25亿元同比+41.77%，归母净利润2.87亿元同比+48.51%。靶材业务稳健增长叠加零部件业务不断放量，双轮驱动收入持续增长。零部件产品包括PVD机台用Clamp Ring、Collimator，CVD/Etching机台用Face Plate、Shower Head等，2021年以来逐步贡献第二增长曲线。受益行业周期波动+国产替代，靶材份额快速提升，零部件业务进入放量期。
