2024年12月2日，美国BIS新增140家中国实体列入出口管制清单，超100家为半导体设备与材料公司，标志着中美科技博弈进入设备层面的深水区。国盛证券研究报告指出，全球半导体设备零部件市场规模约569亿美元，国内厂商营收体量普遍不足10亿元，国产化率提升空间巨大。在制裁持续加码的背景下，射频电源、机械类、机电一体类等核心零部件的国产替代进程将显著加速。
制裁升级：BIS新增140家实体，设备零组件成博弈焦点
2024年12月2日，美国商务部工业与安全局发布两项出口管制新规，新增140个实体清单，超100家为半导体设备和材料公司。北方华创、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、中科飞测、华海清科、芯源微等设备厂商，以及南大光电、沪硅产业等材料厂商被列入，主要影响涉美供应商采购。
回顾历史，每一次美对华核心科技的重大制裁都间接推动了我国半导体产业的巨大进步。2018年中兴通讯被禁、2020年华为被列实体清单，开启了我国终端公司采用“中国芯”的进程；2020年中芯国际被列实体清单叠加全球芯片产能紧张，芯片国产化进程大大加速。
12月3日，中国汽车工业协会、半导体行业协会、互联网协会、通信企业协会集体发布声明，建议国内企业审慎选择采购美国芯片。这体现出2018年以来美国对华出口管制背景下，中国半导体产业链自主可控能力已大大增强。芯片国产化趋势下，上游设备及零部件作为基石产业有望迎来确定性增长。
市场规模：全球569亿美元，国内厂商体量偏小
2024年第三季度全球半导体设备销售额303.8亿美元同比增长19%，中国半导体设备销售额129.3亿美元同比增长17%，中国对成熟制程技术的需求仍较为强劲。SEMI测算2025年全球半导体设备市场同比增长16.5%至1275亿美元。
半导体设备零部件市场规模测算：设备毛利率约45%，成本占销售额55%，直接材料占成本95%，零部件占设备总销售额约52%。据此测算2024年全球半导体设备零部件市场规模约569亿美元，2025年将达663亿美元。
国内半导体设备零部件厂商目前营收规模较小。富创精密2023年半导体业务营收不足21亿元，其余均小于10亿元，相较于中国半导体设备零部件市场约190亿美元的规模，国内厂商体量较小，处于国产替代早期阶段。在地缘政治冲突背景下，国内零部件企业在供应链安全、成本、服务等方面具有优势，成长空间巨大。
核心零部件品类与格局：射频电源、机械类、机电一体类
半导体设备零部件可分为机械类（反应腔、传输腔、石英、陶瓷件、硅部件、静电卡盘）、电气类（射频电源、供电系统）、机电一体类（EFEM、机械手、阀体模组、浸液系统、温控系统）、气体/液体/真空系统类（气柜、干泵、分子泵、阀门）、仪器仪表类（气体流量计、真空压力计）、光学类（光学元件、光栅、激光源、物镜）等六大类。
射频电源是核心“卡脖子”环节之一。以ICP刻蚀设备为例，一台刻蚀机在射频电源和匹配器上的采购需花费数百万元，占设备总成本的12%左右。射频电源更换对工艺影响大，客户此前替换意愿不强。但2022年10月美国“半导体制造”最终用途限制措施后，射频电源国产替代需求紧迫。
机械类主要供应商包括京鼎精密、Ferrotec、美国杜邦等海外厂商，国内有富创精密、江丰电子、菲利华；电气类海外有Advanced Energy、MKS，国内英杰电气；机电一体类海外有Brooks Automation、Rorze、ASML，国内有华卓精科、富创精密、新松机器人。
核心推荐：英杰电气——射频电源国产替代龙头
英杰电气是国内半导体设备核心零部件射频电源龙头，与下游设备厂共同成长。2023年4月公司设立专门从事半导体射频电源业务的英杰晨晖，2023年12月中微公司入股25%，彰显了下游龙头对公司半导体业务的认可。
射频电源毛利率高达55%以上（2024年上半年），比传统主业高20个百分点，对盈利能力拉动明显。2024年公司半导体电子材料行业新签订单超3亿元，除新增设备需求外，存量设备更换需求逐步显现。射频电源使用寿命较短，下游晶圆、芯片客户出于零部件供应安全考虑，也在积极推动国产替代。
富创精密国内收入占比持续提升，江丰电子在国产化趋势推动下同样维持较高增长。先锋精科与珂玛科技国内收入占比已较高，收入也维持较高增长水平。随着制裁持续收紧，国产化率提升成为重中之重，半导体设备零部件国产替代正当时。
半导体设备零部件市场规模测算| 指标 | 数值 | 说明 |
|---|
| 2024年全球半导体设备市场 | 约1094亿美元 | SEMI数据 |
| 设备毛利率 | 约45% | 北方华创/拓荆科技等 |
| 成本占销售额 | 55% | 1-毛利率 |
| 直接材料占成本 | 95% | 零部件主要为直接材料 |
| 零部件占设备销售额 | 约52% | 55%×95% |
| 2024年全球零部件市场 | 约569亿美元 | 测算值 |
| 2025年全球零部件市场 | 约663亿美元 | 基于SEMI预测1275亿美元设备市场 |
| 中国零部件市场 | 约190亿美元 | 占全球约1/3 |
