国盛证券发布半导体设备零部件国产替代专题报告。2024年12月2日，美国BIS新增140家中国实体列入实体清单，超100家为半导体设备和材料公司，制裁范围从芯片延伸至设备、零部件全产业链。测算2024年全球半导体设备零部件市场569亿美元，2025年达663亿美元。国内半导体设备零部件厂商体量较小，处于国产替代早期阶段。射频电源作为“卡脖子”环节，国产替代需求紧迫，关注英杰电气。
BIS实体清单扩大至设备环节，国产替代迫在眉睫
2024年12月2日，美国商务部工业与安全局发布两项重要出口管制新规，新增140个实体，超100家为半导体设备和材料公司。被列入实体清单的企业包括北方华创、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、中科飞测、华海清科、芯源微等设备厂商，以及南大光电、沪硅产业等材料厂商。美国供应商在未获特殊许可证前将被禁止向这些企业发货。
回顾历史，每一次美对华核心科技制裁都间接推动了中国半导体产业进步。2018年中兴事件开启我国终端公司采用中国芯的开端，2020年中芯国际被列入实体清单加速了芯片国产化进程。当前制裁力度更大、范围更广，半导体设备零部件国产替代进程有望再次提速。
全球半导体设备零部件市场569亿美元，国内厂商体量小
2024Q3全球半导体设备销售额303.8亿美元同比增长19%，中国129.3亿美元同比增长17%。SEMI预测2025年全球半导体设备市场规模同比增长16.5%至1275亿美元。按设备毛利率45%、直接材料占成本95%、零部件占设备销售额52%测算，2024年全球半导体设备零部件市场569亿美元，2025年达663亿美元。
国内半导体设备零部件厂商中体量最大的富创精密2023年半导体业务营收不到21亿元，其余均小于10亿元，相较于中国市场约190亿美元的规模，国内厂商体量极小，处于国产替代早期阶段，未来成长空间巨大。富创精密和江丰电子国内收入占比持续提升，在国产化趋势推动下有望加速成长。
射频电源：核心“卡脖子”环节，英杰电气率先突破
射频电源是产生等离子体的配套电源，以ICP刻蚀设备为例，射频电源和匹配器采购占设备总成本约12%。射频电源更换对工艺影响大，客户此前替换意愿不强，但2022年10月美国出口管制后，射频电源已成为“卡脖子”环节之一，国产替代需求紧迫。
英杰电气是国内半导体设备核心零部件射频电源龙头。2023年4月设立专门从事半导体射频电源业务的英杰晨晖，2023年12月中微公司入股25%，彰显下游龙头对公司的认可。今年半导体电子材料行业新签订单超3亿元。射频电源毛利率高达55%以上（2024H1），比传统主业高20pct，对盈利能力拉动明显。老设备更换需求逐步出现，射频电源使用寿命较短，下游晶圆客户出于供应安全考虑积极推动国产替代。
投资建议：关注设备零部件国产替代核心标的
在美国制裁持续加码的背景下，半导体产业链自主可控需求迫切。设备零部件国产替代正当时，建议关注射频电源龙头英杰电气；机械类零部件关注富创精密（工艺/结构零部件、模组产品）；材料类关注珂玛科技（先进陶瓷零部件）、江丰电子（靶材+零部件）。半导体设备零部件国产化率提升叠加晶圆厂扩产需求，板块有望迎来加速成长。
表3：半导体设备零部件主要品类及国内厂商| 品类 | 海外主流厂商 | 国内主流厂商 |
|---|
| 机械类 | 京鼎精密、Ferrotec | 富创精密、江丰电子 |
| 电气类（射频电源） | Advanced Energy、MKS | 英杰电气、北方华创 |
| 气液真空系统类 | Edwards、Eabra、MKS | 新莱应材、万业企业 |
