华创证券发布半导体设备零部件国产替代分析报告。2024年12月2日，美国将多家中国半导体设备企业（北方华创、拓荆科技、芯源微等）列入实体清单，半导体设备零部件国产替代紧迫性显著提升。与此同时，国内主要设备厂商前五大供应商采购占比已从2019年的33.65%下降至2023年的22.93%，国产供应商从0到1快速崛起。静电卡盘、真空泵、真空阀门等核心零部件仍被海外巨头高度垄断，国产替代空间广阔。
美国制裁层层加码，零部件自主可控迫在眉睫
2024年12月2日，美国将多家中国半导体企业列入实体清单，包括：芯恩、鹏新旭、ICRD等代工厂，北方华创、拓荆科技、芯源微、新凯来等设备厂商，中微被移除VEU白名单（不再享有出口便利）。制裁范围从晶圆制造延伸至设备制造全链条。
半导体设备零部件是决定设备产业发展水平的关键因素，也是国内设备企业“卡脖子”环节之一。海外管制不断升级背景下，核心零部件进口渠道持续收窄，晶圆厂和设备厂对国产零部件的验证导入意愿显著增强。零部件国产替代从“可选项”变为“必选项”，国内零部件厂商迎来历史性发展窗口。
国内设备厂国产供应商导入加速，集中度明显下降
国内主要设备厂前五大供应商采购金额占比从2019年33.65%下降到2023年22.93%，集中度明显下降。北方华创、中微公司、拓荆科技等头部设备厂逐步导入国产零部件供应商，验证壁垒正在被突破。
半导体设备零部件客户验证壁垒高，从质量体系认证到批量生产周期通常为两年半。一旦形成稳定合作关系，零部件供应商将具备长期竞争优势。近年国产供应商从0到1快速崛起，在细分领域进展较快的企业能抢占先机率先导入。随着国产供应商逐渐成熟，头部供应商集中度将持续分散。
关键零部件海外垄断，国产化率差异显著
半导体设备关键零部件市场竞争格局整体分散（2022年CR10为53%），但各细分赛道集中度极高。静电卡盘市场前四大企业（日本新光电气、美国应用材料、日本TOTO、美国LAM）占据90%以上全球份额。真空泵市场Atlas（瑞典）占49%、Ebara（日本）占25%、Pfeiffer（德国）占14%，三家合计88%。真空阀门市场瑞士VAT占全球半导体领域约70%份额。
从国产化率看，各品类差异显著：机械类零部件（金属件）国产化率相对较高，富创精密已进入国际设备厂商供应链；电气类（射频电源等）国产化率低，主要供应国内设备厂；气/液/真空系统类处于中等水平，新莱应材等部分产品已突破；光学类国产化率极低，高端产品尚未国产化，光刻机光学系统被Zeiss等高度垄断。
政策支持加码，大基金三期有望重点支持零部件
2024年5月国家大基金三期注册成立，注册资本3440亿元。大基金一期侧重半导体制造领域，二期侧重设备和材料，三期面向半导体全产业链，旨在引导社会资本加大对半导体产业多渠道融资支持。据多家银行公告，大基金三期有望加大对核心技术和关键零部件的支持力度。
大基金注资将加速零部件企业产能扩张和技术研发。叠加国产替代紧迫性提升和晶圆厂扩产需求，半导体设备零部件行业有望迎来政策、市场、技术三重共振的加速发展期。
