近年来，随着全球半导体设备市场规模不断扩大，光刻机市场规模随之增加。据数据显示，2016-2021年全球光刻机市场规模增长至181亿美元，预计到2022年增长至201亿美元。
从光刻机前三大厂商市场份额方面来看，据统计，全球前三大光刻机厂商市场份额占比达90%以上，到2021年全球光刻机销量达478台。
数据来源《电子行业深度报告：半导体前道设备研究框架-220714(39页)》
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