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根据中国科学院半导体所、中国科学院新疆生态与地理研究所:(1)扫描电镜成像是利用细聚焦高能电子束在样件表面激发各种物理信号,如二次电子、背散射电子等,信号的强度与样品表面形貌有一定的对应关系,因此可将其转换为视频信号得到样品表面形貌的图像。(2)透射电镜是把经加速和聚焦的电子束投射到非常薄的样件上,电子与样品中的原子碰撞,而改变方向,从而产生立体角散射;散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。
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