HMI多电子束系统结构
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品全球领先，根据the information network，2022年ASLM电子束检测设备全球市占率达50%。2016年，ASML通过收购HMI（全球最大电子束检测供应商）进入电子束检测市场，此后相继推出HMI eP5（OCD）、HMI eScan 600（多类缺陷）等电子束检测设备。2020年，ASML推出全球首个多电子束晶圆缺陷检测设备HMI eScan 1000（9电子束），定位3nm研发应用，吞吐量相比单电子束提升600%。ASML目前垄断EUV光刻机市场，通过将其量检测设备与EUV系统配套，电子束检测设备竞争优势显著。
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