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扫描电镜按照电子枪种类可分为钨灯丝/六硼化镧灯丝/热场发射/冷场发射扫描电镜。电子枪的必要特性是亮度高、电子能量散布小，常用的电子枪有钨灯丝（热发射）、六硼化镧灯丝（热发射）、热场发射、冷场发射四种。场发射扫描电镜的分辨率、亮度等性能指标通常要优于热发射扫描电镜，但使用条件往往更为严苛、价格更为昂贵。
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