晶圆制造类EDA工具主要用于工艺平台开发和晶圆生产阶段
2022-07-11 15:34:31
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2017-2026E中国市场EDA市场规模亿元）
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3）晶圆制造类。晶圆制造类 EDA工具主要是晶圆厂在工艺平台开发和晶圆生产阶段应用的工具，主要协助晶圆厂完成半导体器件和制造工艺的设计，建立半导体器件的模型并通过 PDK或建立 IP 和标准单元库等方式提供给集成电路设计企业。晶圆制造类工具包括晶圆制造类工具包括工艺与器件仿真工具（TCAD）、器件建模工具、工艺设计套件工具（PDK）、计算光刻工具、掩膜版校准工具和良率分析工具等。
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