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公司设备零部件来源广泛，国产化率接近 60%。中微设备零部件主要来源为中国、日本、美国、欧洲，一直努力实现高程度国产化，由于刻蚀设备属于高精度加工设备，对设备零部件加工精度和材料能力要求较高，部分零部件由于设备技术需求，暂未实现国产化。根据公司公告，截至 2021 年，CCP、ICP 国产零部件价值比重分别为 61.44%和 59.48%，国产化率约为 60%，第二大零部件来源国是日本，约占 20%。
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