近两年国内主要晶圆产线薄膜沉积设备国产化率(按台数)
2022-05-16 14:11:47
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公司引领 PECVD 国产替代。当前薄膜沉积设备国产化率仍处于较低水平,而薄膜沉积工艺和技术分支多样,凭借多年技术积累,公司有望在 PECVD 这一细分领域比肩国际设备,引领国产替代。我们统计了 2020年和 2021年 6个国内主要晶圆产线薄膜沉积设备的招标情况,总体化国产率在 5.5%左右,其中,拓荆科技主要提供 PECVD设备,北方华创主要提供 PVD产品。
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