传输阀连接真空泵及反应腔
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真空阀为真空系统核心零部件，用于隔离或传输真空区域外的电子气体等介质。半导体零部件真空阀按作用分类主要包括隔离阀、控制阀、传输阀，按启闭方式则可分为球阀、闸阀、角阀等。隔离阀用于隔绝或接通管路，控制阀用于控制气体/液体的压力和流量，传输阀则用于连接密封腔室传输介质。闸阀的启闭件为闸板，闸板运动方向与介质流动方向垂直；角阀的气体通路通常呈直角，主要可用于真空系统中的排气管路和抽气系统等的连接；球阀的启闭件是带有圆形通道的球体，绕垂直于通道的轴线旋转，球体随阀杆转动从而达到启闭通道的目的。
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