开管式与封闭式性能对比
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闭管X射线源中,阴极与阳极/靶都封闭在真空管内。在使用时无需抽真空,闭管方式的X射线管高压一般在30kV-150kV之间,靶功率可以做到75W,使用生命周期在3年左右,常用于集成电路及电子制造、新能源电池等精密检测等领域;开管则带有真 空泵、真空阀,开管的阴极和阳极/靶都可以更换。开放式的X射线管高压一般在30-225kV之间,靶功率可以做到25W。开管精度高,零部件可以更换,但初期设备购置成本高,多用于要求较高的科研领域或集成电路领域。
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