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当前业界主流的拉晶工艺为 RCZ(多次投料复拉法),是在此前 BCz(分批直拉)的基础上增加加料装置,拉制单根硅棒时留下部分硅熔液使坩埚保持高温,然后通过加料装置将硅料加入坩埚中进行下一根硅棒的拉制。
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