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2)过滤器,搭配风机过滤单元便用,用来去除空气中的杂质,应用于洁净室中特定工序、洁净室新风系统、暖通系统等。根据用途和洁净效率分为初中效过滤器、高效过滤器、静电过滤器和化学过滤器等。
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