ALD新产品VS-300tAstra-sSiO，膜厚与片内均均匀性，可配置5个反应腔，以及多达30个反应站
2025-05-14 15:26:33
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优势。其具有旋转功能，可改善膜厚均匀性，总膜厚变化降低24.5%；坪效比增加>20%，Stack和厚膜成本效益显著提升。该平台可配置 5个反应腔，以及多达30个反应站，可适配多种PECVD、PEALD、Thermal ALD反应腔。目前安装体量已有36平台+180反应腔。对于晶圆厂，尤其存储厂是存储厂来说，降本提效极为重要，因此新平台有望大幅提升公司产品竞争优势。
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