38%,2023年进一步提升至44%,如下图所示。
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通用湿电子化学品国产化进展迅猛。近年来,国内企业在电子级 (半导体G5级)氢氟酸、硫酸、双氧水、磷酸、硝酸、氨水等品种 上取得显著突破,在 12 英寸晶圆 28nm以上工艺制造方面已基本实 现大批量供货,在 28nm 以下技术节点晶圆制造应用方面稳步推进。 2024年,行业整体国产化进程提速,电子级双氧水、硫酸、氢氟酸 国内市场的综合占有率已达55%,集成电路用通用湿电子化学品,用 量较大的无机类品种,基本可以满足国内主要应用厂商的需求。但当 前供应仍主要集中于本土市场,全球市场份额有待提升。 功能湿电子化学品方面,国内电子化学品企业与国际先进企业相 比差距较大,目前量产供应的主要有电镀液、硅蚀刻液、28nm 以上 技术节点用各类清洗剂及少部分蚀刻液、剥膜液。 随着集成电路、显示面板等下游产业产能持续扩张,以及国家政 策大力扶持,具备高端产品稳定生产能力的本土企业将迎来广阔替代
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