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POI 衬底在压电层和功能层表面以下增加额外的𝑺𝒊𝑶𝟐氧化埋层，从而改善频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。normal SAW 利用在石英、钽酸锂或铌酸锂等压电基板上创建交错的金属叉指式换能器（IDT），将电输入信号转换为声波。TC SAW 则是集成在单晶铌酸锂上，且将 IDT 电极埋入二氧化硅层中，从而提高了频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。由于在 normal SAW 基板结构中，声波沿表面传播，在电极下达到几个波长，体声波辐射模式则是出现在基板深处，这导致体声波泄露，使Q 因数、TCF 和耦合降低。而创建一个新的多层结构（或称之为 TC-SAW 的变型），则能降低这种泄露，即在压电层和功能层表面以下增加额外的𝑆𝑖𝑂2氧化埋层，将在表面传播的 SAW 引入压电层和功能层，这会将声学能量限制在表面附近，从而改善 TCF 和 Q 因数。
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