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据中微公司管理层的介绍,中微先进入CCP领域,主要是因为与其主要中国内地竞争对手北方华创在国产设备起步阶段适当分工,而后者刻蚀则最先聚焦在ICP(Inductively Coupled Plasma,电感耦合等离子体)。ICP 技术一般用于刻蚀硅和金属材料等化学键能较低的材料。从市场规模来看,2024年,CCP和ICP市场规模相仿。
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