表20、p溅o射靶材分类分类标r准产品类别形状t@长靶、方靶、圆靶
2022-07-14 16:17:35
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cn溅射靶材种类和规格众多,按形状可以分为长靶、方靶、圆靶等;按化学成 分 又可以分为金属靶材、合金靶材、化合物靶材等,用以沉积不同的薄膜材料;而 按 照下游终端应用则又可以分为半导体用、平板显示用、太阳能电池用、信息存储 用、电子器件用等多种类。
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