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生产和销售，公司九大系列设备和三大系列软件产品组合构成了全方位的良率管理解决方案。根据中科飞测2023年报，公司九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求，其中六大系列设备已经在国内头部客户批量量产应用，另外三大系列设备已完成样机研发，其中明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、光学关键尺寸量测设备已出货客户开展产线工艺验证和应用开发，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备正在进行客户样品的工艺验证和应用开发，并于多家国内头部客户达成客户现场评估意向；三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。
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