2024年全球EUV及ArFi高端光刻机被ASML垄断
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3、高端机型主要被 ASML 垄断，Nikon 及 Canon出货主要集中在中低端品类 ASML 主导全球前道高端光刻机市场。根据 ChipInsights 的 2024 年全球半导体前道光刻机销量数据显示，ASML 作为行业龙头在 EUV、ArFi 等高端光刻机领域的销量明显高于其他两家。Nikon 和 Canon 在 KrF、i-line 等领域占据相当程度的市场份额，Nikon 除高端的 EUV 光刻机外，其他类型均有出货；而 Canon 则主攻低端的 i-line 和 KrF 光刻机，在i-line 类型光刻机方面销售量较高。
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