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刻蚀设备国产化已进入快车道。根据 SEMI 及中微公司转引的 Gartner 数据,2022 年全球刻蚀设备市场约为 230 亿美元,占到半导体设备市场的 22%。其中 ICP&CCP 合计占到刻蚀设备市场的 95.4%,占据绝对份额。根据万业企业官微报道,近年来中微公司、北方华创、屹唐半导体等国产公司发展迅速,刻蚀设备国产化率已达到 20%左右水平。其中:1)中微公司:公司 CCP 刻蚀设备已广泛进入国内外一线客户供应链,ICP 刻蚀设备出货量保持高速增长趋势;2)北方华创:公司 ICP 刻蚀设备已成为国内主流客户优选机台,并推出 CCP、晶边刻蚀机和除胶机,在客户端进展顺利;3)屹唐半导体:公司在去胶机市场 2020 年全球市占率第一,并已具备等离子体刻蚀设备的生产能力。
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