TOPCon电池LPCVD和PECVD法CAPEX对比
2022-10-27 04:46:25
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LPCVD 与 PECVD 综合总投入成本接近。根据拉普拉斯统计，LPCVD 路线和PECVD 路线 GW 级 CoO 分别为 0.0313 元/W 和 0.03 元/W，十分接近。PECVD 需要额外配置尾气处理和饱和机台，但得益于大产能优势，对应机台数减少。PECVD和 LPCVD 的综合总投入成本分别为 3106.5 万元和 3124 万元，两者差距并不明显，那未来主流生产路径的考量的就是量产效率以及良率。
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