含氟特气产业规模大,是国产化较为成功的赛道。含氟电子特气是应用于微电子工业(如集成电路、平板显示、太阳能薄膜等)的一种优良等离子蚀刻和清洗材料,其中三氟化氮广泛用于大规模集成电路、平板显示、薄膜太阳能的生产制造,六氟化硫广泛应用于输配电及控制设备行业,高纯六氟化硫可用于半导体材料的干法刻蚀清洗。在 2021年全球电子特种气体市场中,三氟化氮市场规模排名第一,占比约 20%,六氟化钨市场规模排名第二,占比约 8%。顺应半导体配件材料国产替代的趋势,以中船特气、南大光电等为首的国内气体企业自研三氟化氮和六氟化硫,并实现量产。