Lasertec公司产品覆盖光掩模基板检测、光掩模检测，特别是EUV光掩模检测全球领先
2023-10-07 08:10:10
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在 EUV光掩膜的缺陷检验设备中，Lasertec 公司占据全球市场约 100%的份额。日系厂商 Lasertec 使用与EUV 光刻相同的 13.5nm 波长，用来检测 EUV 光罩缺陷，产品缺陷检测灵敏度更高。凭借这一优势，Lasertec公司在 EUV 光掩膜的缺陷检验设备中占据全球市场约 100%的份额。
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