半导体设备零部件国产化率情况
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根据观研天下数据，中国在半导体设备零部件国产化率依然不高，在技术门槛相对较低的机械类零部件领域，如石英件、边缘环和喷淋头，国产化率已超过 10%。在高端核心零部件领域，对外依赖度仍然极高，静电卡盘、高精度阀门、各类测量仪器的国产化率普遍低于 1%；射频电源、机械臂、EFEM、气体流量计等关键部件的国产化率仅在1%-5%之间；而陶瓷件和真空泵的国产化率也仅达到 5%-10%。在美日荷限制对国内半导体先进设备背景下，以及国内晶圆厂扩产需求带动下，半导体设备零部件国产化率有望加速提升。
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