我国光刻机产业链（仅针对公开信息整理，图中数字为持股比例）
2025-01-13 13:42:24
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从前文可以看出，光刻机的每个子系统都是复杂的系统工程，把各个子系统组装成可使用的整机是更为复杂的系统工程，尽管自上世纪90年代，我国科研团队就开始了光刻机相关研究，但受限于国外设备、技术的封锁，以及自身技术薄弱等原因，进展一直落后于国外。2008年，我国出台了《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020）》，其中明确了16个科技重大专项，其中排名第二的就是“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”，因此也被业内称为“02专项”。光刻机项目作为“02专项”的核心项目之一由此开启，根据“02专项”的部署，上海微电子负责光刻机整体的系统设计和系统集成；中科院长春光学精密机械和物理研究所（简称长光所）牵头负责物镜系统的研发，中科院上海光学精密机械研究所（简称上光所）负责照明系统的研发，两者一起组成光刻机的曝光光学系统；清华大学牵头负责光刻机双工件台设计；浙江大学牵头负责研发光刻机浸液系统。产业化的进程中，各高校和科研院所也孵化了一批公司，本篇报告根据公开信息整理如下表所示。
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