PECVD射频频率增加带来沉积速率增加的同时均匀性和透光率在变差
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行业在沉积速率与均匀性&透光率之间倾向于选择前者，对应 VHF-PECVD。按射频频率，PECVD 可分为射频增强等离子体化学气相淀积（RF-PECVD）和甚高频等离子体化学气相淀积（VHF-PECVD），RF-PECVD 技术成熟，稳定性好，薄膜均匀，但沉积速率较慢。频率更高的 VHF-PECVD 具有高技术壁垒，沉积速率极快，能够大幅提升生产效率，但薄膜均匀性较差，且过快的沉积速度不利于对薄膜厚度的精准控制，导致透光率较低。行业在沉积速率与均匀性&透光率之间倾向于选择前者，VHF-PECVD 因此得到了更为广泛的应用。目前只有迈为股份和理想万里晖布局 VHF-PECVD 路线，其余厂商均使用主流的 RF-PECVD 以保证高均匀性与透光率。
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