中科飞测产品分类及介绍
2024-06-04 08:15:53
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中科飞测前十大股东（截至2024年三季报）
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公司的检测设备主要功能系检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。主要产品包括无图形晶圆缺陷检测设备系列和图形晶圆缺陷检测设备系列。量测设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。主要产品包括三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列、3D 曲面玻璃量测设备系列。
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