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溅射靶材种类较多。溅射靶材主要由靶坯、背板等部分构成，其中靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分。背板主要起到固定溅射靶材的作用，且需要具备良好的导电、导热性能。产品按不同分类标准可分为多种类别。不同应用领域对溅射靶材所使用的金属材料的选择和性能要求也不同。
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