3类真空镀膜技术:真空蒸发蒸镀(左)、真空磁控溅射镀膜(中)、真空离子蒸镀(右)
2024-03-22 08:20:43
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其中,真空蒸发镀膜设备是复合铜箔三步法制备工艺中第二步所使用的设备;复合铝箔制备的核心设备。真空磁控溅射镀膜设备:复合铜箔二步法、三步法制备工艺中第一步所使用的设备。目前主要参与者包括:美国 AppliedMaterial、日本爱发科、日本光驰、汇成真空、北方华创、湘潭宏大、广东振华、道森股份、腾盛科技、东威科技等。设备重点指标包括:设备工作的溅射气压、电压、线速(米/分钟)、反复蒸镀次数、设备成本等。
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